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產(chǎn)品名稱:MC 氣體標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器

發(fā)布時(shí)間:2023-12-22

產(chǎn)品型號(hào):MC型

產(chǎn)品特點(diǎn):MC 氣體標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器控制響應(yīng)很快、很穩(wěn)定的質(zhì)量流量控制器,可測(cè)量并控制低至2.5微升的流量,依照用戶應(yīng)用需求量身定制閥門孔徑以確保達(dá)到很好工作效果。

MC型MC 氣體標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的詳細(xì)資料:

MC 氣體標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品介紹:


  MC 氣體標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器全球控制響應(yīng)很快、很穩(wěn)定的質(zhì)量流量控制器,可測(cè)量并控制低至2.5微升的流量,依照用戶應(yīng)用需求量身定制閥門孔徑以確保達(dá)到很好工作效果。


所有氣體的滿量程流量在0.5 SCCM和 5000 SLPM之間( H2 為 10,000 SLPM)

監(jiān)測(cè)四個(gè)變量: 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

控制三個(gè)變量之一:質(zhì)量流量、體積流量或壓力

預(yù)加載98 多種氣體校準(zhǔn)且可供用戶選擇

本地、模擬或數(shù)字控制,包括工業(yè)協(xié)議


技術(shù)參數(shù):


穩(wěn)態(tài)控制范圍:滿量程的0.01% – 100%

NIST 可追溯校準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)精度:讀數(shù)的 ±0.6% 或滿量程的 ±0.1%,以較大者為準(zhǔn)

高精度:讀數(shù)的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%,以較大者為準(zhǔn)

重復(fù)性:±(讀數(shù)的0.1% + 滿量程的0.02%)

典型控制響應(yīng)時(shí)間:快至 30 ms

預(yù)熱時(shí)間:<1秒

兼容氣體:98+ 純氣體和混合非腐蝕性氣體

工作溫度:–10°C 至 +60°C

滿量程工作壓力:160 PSIA (11 barA)


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